熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級鉑熱電阻RT組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個基準級鉑熱電阻RT置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，即利用流體流過發(fā)熱物體時,發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。當(dāng)流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系,再通過微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。

  另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度，隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。

根據(jù)熱效應(yīng)金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質(zhì)量流量Q_m之間的關(guān)系可用下式表示：   

式中: K₁、K₂、K₃--- 設(shè)計和校準參數(shù)；

△T--- 溫差(=T₂-T₁)，K；

P--- 輸入加熱功率,W;

Q_m--- 質(zhì)量流量，kg/S。

這稱為金氏定律， K₁、K₂、K₃ 取決于傳感器的幾何尺寸和氣體特性,如熱導(dǎo)率、粘度和比熱容。